Absolut messendes Interferometer
Die Absolute-Multiline-Technologie dient zur Präzisionsmessung von Längen bis zu 20m. Das Messverfahren kombiniert die Vorteile eines Interferometers mit denen absolut messender Systeme. Im Gegensatz zu konventionellen Interferometern kann der Laserstrahl der neuen Technologie aber jederzeit unterbrochen werden, ohne dass ein Genauigkeitsverlust eintritt. Vergleichsmessungen mit einem konventionellen Interferometer bestätigten eine Messunsicherheit von 0,5ppm (=0,5µm/m) bei Entfernungen von 0,2 bis 20m. Ein System wird mit acht bis 100 Messkanälen ausgestattet, wobei jeder Kanal Bewegungen und Schwingungen des Messobjekts mit einer zeitlichen Auflösung von über 500kHz erfassen kann.
