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Ultrapräziser Abstandssensor

Das ultrapräzise Interferometer FPS3010 ermöglicht Messungen von Positionsveränderungen und Vibrationsamplituden im Sub-Nanometer-Bereich. Durch die patentierte Technologie, können Positionsabweichungen von bis zu drei Objekten bei Arbeitsabständen von bis zu 1m simultan erfasst werden. Auch Werte wie Winkelversatz und/oder Kippung können aufgrund der drei Achsen höchstpräzise bestimmt werden. Das Design des attoFPSensors Interferometers beruht auf einem glasfaserbasierten Konzept, das die Größe der Sensorköpfe auf wenige mm-Durchmesser reduziert und das Gerät bei Betriebstemperaturen von -250° bis +150°C zuverlässig arbeiten lässt. Vibrationsmessungen an Bauteilen sind bis zu 1MHz Bandbreite möglich.

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