Visualisierung im nm-Bereich

3D-High-Speed-Messungen an Präzisionsoberflächen

Das neue Weißlichtinterferometer ZeGage Plus ist ideal für berührungslose 3D-Form- und Rauheitsmessungen an feinst bearbeiteten Oberflächen, bietet aber im Vergleich zum Vorgängermodell mehr Messmöglichkeiten.
So kann es eingesetzt werden für Prüfstücke aus Glas, Keramik, Metall und anderen Werkstoffen mit einer noch größeren Vielfalt der Oberflächen-Beschaffenheit, die von sehr rau über geschliffen, geläppt, poliert sowie super-poliert bis zu extrem glatt variieren kann. Das neue Gerät hat einen Scan-Bereich von bis zu 20mm Höhe, zeichnet sich durch eine hohe Auflösung im Nanometer-Bereich aus und misst mit fast doppelter Scan-Geschwindigkeit die verschiedenen Oberflächenrauheitsparameter gemäß ISO25178. Zudem bietet das Gerät eine 20-fach verbesserte Wiederholgenauigkeit gegenüber dem Vorgänger. Da die Daten schneller bereitgestellt werden und der Datendurchsatz größer ist, eignet sich das Gerät besonders gut für Hochgeschwindigkeits-Formmessungen. Wie beim Vorgängermodell ermöglicht die interaktive Mx-Steuerungssoftware eine klare Visualisierung der Messung. Ein Bildsensor mit einer Millionen Pixel liefert mit sekundenschnellen flächenhaften Messungen 2D- und 3D-Bilder, die detailliert Einblick in die Oberflächentopographie der Prüfstücke geben. Mit einem optionalen motorisierten Probentisch besteht zudem die Möglichkeit, Messfelder zusammenzufügen und so auch hochaufgelöste Analysen großer Flächen durchzuführen. Das einfach zu bedienende Gerät ist mit einem integrierten Autofokus und einer Fokussierhilfe ausgestattet, die das Einlegen der Prüfstücke erleichtern und den Bedienereinfluss verringern. Der Prozess kann anhand der Visualisierungen durch die Software leicht kontrolliert werden. Das Weißlichtinterferometer ZeGage Plus ist für Produktionsbereiche vorgesehen, eignet sich aber genauso gut für Forschungseinrichtungen. Durch die berührungslose Messtechnik ist die Verwendung eines schwingungsisolierten Tisches für die meisten Anwendungen überflüssig.

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